1 . 取樣長度

各參數的單位長度，取樣長度是評價表面粗糙度規定一段基準線的長度。在ISO1997標準下一般使用0.08mm,0.25mm,0.8mm,2.5mm,8mm為基準長度。

2 . 評價長度

由N個基準長度所構成。零部件表面各部分的表面粗糙度，在一個基準長度上無法真實地體現出粗糙度真實參數，而是需要取N個取樣長度來評定表面粗糙度。在ISO1997標準下評定長度一般為N等于5。

3 . 基準線

基準線是評定粗糙度參數的輪廓中線。一般有最小二乘法中線和輪廓算術平均中線。

【最小二乘法中線】是把測量過程中采集的點進行最小二乘法計算。

【輪廓算術平均中線】在取樣長度內，使中線上下兩部分輪廓的面積相等。

理論上最小二乘中線是理想的基準線，但在實際應用中很難獲得，因此一般用輪廓的算術平均中線代替，且測量時可用一根位置近似的直線進行代替使用。